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第一百九十三章 EUV极紫外光刻机199(第3页)

而狻猊智能机器人的组装生产线,其占地面积就更小。

仔细算一算,30米乘以30米的仓房,其900平方米的空间,应该支持罗海将两套生产线安装下来。

“没事,如果狻猊智能机器人的组装生产线厂房放不下,那就放在山洞机库里,反正空间够大。”罗海摇了摇头,接下来思考着,该如何获得尖端高性能光刻机。

超大规模集成芯片最为关键的核心加工设备,光刻机!

罗海在女娲对高烈度工作状态下收集到的测试数据,进行整理和分类时,心中默默地思考着:

“提纯方面和切片我不用担心,y1金属由纯能量构造而成,纯度无限接近于100%。那么,我需要的是,一台世界上最精密被誉为‘现代光学工业之花’的仪器,尖端高性能光刻机。”

光刻机,半导体制造核心加工设备,现代光学工业之花,世界上最精密的仪器!

一台低端光刻机,都有着数百万元的高昂价格。而一台尖端高性能光刻机,其价格更是高达数千万美元以上。

罗海静静思考着:“女娲,你说我该选择什么样的光刻机?”

“哥哥,首先y1金属材料的特性,会对液侵式光刻机产生影响,由此我们无法保证其精度和准确性。考虑到先进和应用程度,以及y1金属材料的特性,我们需要荷兰asl的极紫外光刻技术,也就是价格达到1.1亿美元采用极紫外光刻技术的nxe-3300b极紫外光刻机。”女娲第一时间将建议说了出来。

由于y1金属材料自身的特性,目前主流的193毫米波长的液侵式光刻机,进行光刻时,会对芯片造成不可磨灭的影响,所以女娲基本放弃液侵式光刻机。

而后,将目标放到全球最大半导体制造商之一荷兰asl公司身上,其科学团队研制的euv极紫外光刻机!

euv极紫外光刻机进行光刻时,并不会被y1金属的特性影响,而且其euc极紫外光刻机的13.5纳米曝光波长,是突破16纳米级芯片的关键技术。

如果采用16纳米级超大规模集成超导芯片,这绝对能让超导计算机的性能提升数个甚是数十个百分点。

目标——何兰asl公司euv极紫外光刻机!

“nxe-3300b型极紫外光刻机,这要求真不是一般的高。”罗海听到女娲给出的光刻机信息,嘴角抽了抽,脸上不禁露出一阵苦笑来。

nxe-3300b极紫外光刻机,由于时间和经济问题,从一年前的9千万美元,增长到单台1.1亿美元价格!

极为先进的nxe-3300b极紫外光刻机,数值孔径na为0.33,图像解析度达到22纳米。

每小时可以加工125片晶硅圆,其配套光源的持续功率最低要求为250w,单机套刻精度达到3.5纳米。

作为全世界最先进并且达到实用程度的nxe-3300b型极紫外光刻机,属于欧盟对华武器禁运和美国对华技术封锁中,最高级别的禁运机械,绝对严禁任何一台极紫外光刻机流入华夏。

现在让罗海去搞一台全华夏都没有的nxe-3300b型极紫外光刻机,这困难也太大了。

全世界,就荷兰asl一家公司拥有极紫外光刻机的成熟技术,拥有nxw-3100型和最新的nxe-3300b型极紫外光刻机。

“哥哥,这没办法,193毫米曝光波长技术的液侵式光刻机,对y1金属进行光刻时会造成毁灭性影响,其y1金属的特性无法支持液侵式光刻机进行作业。”女娲无奈的说道,她何尝不明白想要得到一台nxe-3300b型极紫外光刻机,有多么困难。

可是没有nxe-3300b型极紫外光刻机,如果想要在不暴露y1金属的情况下,采用y1金属制成超大规模集成芯片,这基本不可能。

“好吧,我尽力想想办法。”罗海听闻这番话,默默地点了点头,看来他要准备去一趟欧洲。

“女娲,你自己计算数据,我去申请一间仓房。”

休息数分钟后,女娲已经将整个高烈度工作状态的所有测试数据整理分类,并从其中找到各种各样的问题,罗海对着女娲说了一声,便起身离开03实验室,关闭大门准备去资源管理部申请一间仓房。

有李天民给罗海开的绿灯,资源管理部很快便通过罗海的申请要求,成功获得一间随时可以进行工业生产的高精密数控机床仓房。

仓房申请成功后,罗海接着开始拨打电话联系一家家军工厂,下单首付30%的定金,订购狻猊智能机器人的组装生产线。

给数家军工厂下单完,罗海拿着属于自己的仓房钥匙,顺着通道阶梯找到编号为02的仓房,开启合金大门,合理整齐摆放地十五台高精密数控机床,便进入罗海的视线中。

对于装备制造业最为关键高精密数控机床,罗海断然不会将它们搬走,这对他来说也有很大作用。

足足900平方米的仓房面积,减去这十五台高精密数控机床占据的面积,容纳一条产量稀少的芯片生产线和一条狻猊智能机器人组装生产线,毫无问题。

准备就绪,只欠东风!

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